Kombination Rasterelektronenmikroskopie und Mikroskopie mit fokussierten Ionenstrahlen

Die Untersuchung und Abbildung von Materialien im Rasterelektronenmikroskop (REM) ist das Rückgrat der materialwissenschaftlichen Arbeitsweise. Durch die Vereinigung dieser Technik mit der Mikroskopie mit fokussierten Ionenstrahlen eröffnen sich völlig neue Herangehensweisen bzw. Arbeitsstrategien für materialbezogene Fragestellungen und es folgen daraus innovative Lösungsansätze. Mittels der Focused Ion Beam-Technik (FIB) ist es nun möglich, im REM nicht nur die Materialoberfläche abzubilden, sondern auch durch gezielt geführte Schnitte mit Galliumionen Bilder und quantitative Informationen aus der Tiefe der Proben zu erhalten. Dies bildet die Grundlage des in unserem Hause etablierten Verfahrens der dreidimensionalen Abbildung des Gefüges durch die FIB-Nanotomographie, die sich eine Vielzahl von im REM verfügbaren Kontrastarten zunutze macht. Dazu sind die uns zugänglichen Anlagen mit der energiedispersiven Röntgenspektroskopie (EDX) zur chemischen Analyse sowie mit der Elektronenrückstreubeugungstechnik (EBSD) zur Aufklärung der kristallinen Struktur und Mikrotextur ausgestattet. Zudem gestattet es die FIB in Kombination mit geeigneten Mikromanipulatoren, Materialvolumina aus den Proben zu extrahieren und für andere Charakterisierungstechniken zu präparieren. Besonders die selektive und ortsgenaue Zielpräparation von dünnen Folien für die Transmissionelektronenmikroskopie (TEM) zählt zu unseren Spezialitäten.

 


 


Zuletzt geändert am 11. April, 2011